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十万级净化工程按车间生产要求,根据《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001)二楼净化车间设为十万级洁净室。其中换气次数等参数详见参数表。洁净室同非洁净室静压差≥10Pa。
万级净化工程净化作用主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间大家称之为洁净室。
万级洁净室净化工程设计与施工包括光学微电子净化工程无尘室或洁净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医院、食品制造等行业*的重要设施。万级洁净室净化工程以非单向流洁净室是把从污染源散发出来的尘、菌污染物在室内扩散作为前提,用经过高效过滤器处理的洁净空气将污染物冲淡稀释,从而保持室内所需的空气洁净度等级。